1、高效过滤器安装检查

1.1高效过滤器安装前，必须在安装现场拆开包装进行外观检查，内容包括滤纸、密封胶和框架有无损坏，边长、对角线和厚度尺寸等是否符合要求；杠架有无毛刺和锈斑（金属框）；有无产品合格证，技术性能是否符合设计要求。

1.2检查过滤器的滤材是否完好。

1.3滤材与其框架内部的连接是否严密。

1.4过滤器框架的密封垫付和过滤器组支撑柜架之间连接是否稳固。

2、高效过滤器的检漏。

2.1测试方法：尘埃粒子计数器法。

2.2测试范围：对于D级及更高洁净度要求的洁净室，包括层流工作台、百级层流罩、隧道烘箱等设备上的高效过滤器，都必须在现场进行检查检漏。

3、检测材料及仪器。

3.1尘源：含尘浓度为3.5×10⁴粒/L，微粒≥0.5μm的气体。

3.2仪器：尘埃粒子计数器。

4、粒子计数器法检漏方法。

4.1在被检测高效过滤器上风侧以大于或等于0.5μm微粒，含尘浓度为3.5×104粒/L的空气做为尘源，调整过滤器在接近设计风速的条件下运行，用粒子计数器在被测高效过滤器下风侧测得含尘浓度。

4.2根据《CLJ-03A型尘埃粒子计数器SOP》正确使用计数器。

4.3用尘埃粒子计数器采样头扫描过高效滤器的出风侧。采样头离过滤器距离约2～4cm处，沿过滤器内边框均速移动计数器探头巡检，扫描速度应低于5cm/s。

4.4检漏标准控制表。

5、泄漏后处理：

5.1出现泄漏时，用环氧树脂硅胶堵漏或螺栓紧固以后再次进行扫描巡检，仪表指示为“0”，表明漏点已被堵住。

5.2高效过滤器泄漏处允许用专用胶水修补，但是单个泄漏处的面积不能大于过滤器总面积的1%，全部泄漏点的面积不能大于过滤器总面积的5%，否则必须更换。

5.3过滤器修理或重装后必须重新进行测试。

6、检测频度：

6.1在安装或更换高效过滤器时应进行检测。

6.2正常使用情况下，每年至少检测一次。